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納米級小型刮刀涂布設(shè)備

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歷經(jīng)多年的耕耘,紀澤萬家形成了豐富而有競爭力的產(chǎn)品體系,其中PVD、PECVD、CVD、氧化/擴散爐、清洗機及氣體質(zhì)量流量控制器等品類廣泛應(yīng)用于集成電路及泛半導(dǎo)體、太陽能電池、材料熱處理、新能源及航空航天等領(lǐng)域。
在線客服
產(chǎn)品詳情

Nano BC-8刮涂設(shè)備(Blade coating)是針對有機電子學領(lǐng)域(包括有機/鈣鈦礦太陽能電池、有機場效應(yīng)晶體管、有機發(fā)光二極管等),光學薄膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴散膜等)制造等,而設(shè)計開發(fā)的一款具有自主知識產(chǎn)權(quán)的大面積專業(yè)制膜設(shè)備。

相比市面上傳統(tǒng)應(yīng)用于油墨/漿料等材料的涂布設(shè)備,該款設(shè)備可以從多個維度對薄膜沉積進行調(diào)控,因此適用于制備厚度從幾納米到微米級的薄膜。同時配備完整且精密的控制系統(tǒng)以及原位監(jiān)控系統(tǒng),操作便捷且人性化,工藝摸索簡易可傳承,可多方位幫助用戶得到理想的較佳膜厚。

產(chǎn)品特點

高精度控制系統(tǒng),移動平穩(wěn)精細

分體式觸屏控制,操作方便,視角靈活

嵌入式溫控器,觸屏控溫,操作更便捷

體積小巧輕松通過直徑360mm手套

箱過渡倉,可滿足特定環(huán)境要求

搭配工業(yè)顯示器同步進行原位觀察

搭配獨家專利多功能涂布刀頭

搭配獨家專利微米級平臺

搭配2022SR0127767號軟件V1.0

技術(shù)參數(shù)

最大基片尺寸 50*50mm

熱臺平整度 <5um

溫度均勻性 室溫-200度,精度1度,<±2%

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)升降分辨率 005mm

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)升降速度 01mm/s-15mm/s

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)移動分辨率 005mm

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)移動速度 01mm/s-30mm/s

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)與平臺平行度 <0.01mm

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)旋轉(zhuǎn)分辨率 1°

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)角度調(diào)節(jié)范圍 0-180°,可任意調(diào)節(jié)

人機交互系統(tǒng) 3寸觸摸屏控制

風刀系統(tǒng) 風量可調(diào)節(jié)功能,氣源接口適用6*4mm氣管

電源輸入 210~240VAC 500w

尺寸 460mm(W)*265mm(D)*273mm(H)

納米級小型刮刀涂布設(shè)備
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Nano BC-8刮涂設(shè)備(Blade coating)是針對有機電子學領(lǐng)域(包括有機/鈣鈦礦太陽能電池、有機場效應(yīng)晶體管、有機發(fā)光二極管等),光學薄膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴散膜等)制造等,而設(shè)計開發(fā)的一款具有自主知識產(chǎn)權(quán)的大面積專業(yè)制膜設(shè)備。

相比市面上傳統(tǒng)應(yīng)用于油墨/漿料等材料的涂布設(shè)備,該款設(shè)備可以從多個維度對薄膜沉積進行調(diào)控,因此適用于制備厚度從幾納米到微米級的薄膜。同時配備完整且精密的控制系統(tǒng)以及原位監(jiān)控系統(tǒng),操作便捷且人性化,工藝摸索簡易可傳承,可多方位幫助用戶得到理想的較佳膜厚。

產(chǎn)品特點

高精度控制系統(tǒng),移動平穩(wěn)精細

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嵌入式溫控器,觸屏控溫,操作更便捷

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技術(shù)參數(shù)

最大基片尺寸 50*50mm

熱臺平整度 <5um

溫度均勻性 室溫-200度,精度1度,<±2%

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)升降分辨率 005mm

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)升降速度 01mm/s-15mm/s

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涂布刀頭(風刀刮刀一體式)移動速度 01mm/s-30mm/s

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)與平臺平行度 <0.01mm

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)旋轉(zhuǎn)分辨率 1°

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人機交互系統(tǒng) 3寸觸摸屏控制

風刀系統(tǒng) 風量可調(diào)節(jié)功能,氣源接口適用6*4mm氣管

電源輸入 210~240VAC 500w

尺寸 460mm(W)*265mm(D)*273mm(H)

選擇區(qū)號