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從事科研儀器設(shè)備設(shè)計與制造

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納米級平板涂刮設(shè)備

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歷經(jīng)多年的耕耘,紀澤萬家形成了豐富而有競爭力的產(chǎn)品體系,其中PVD、PECVD、CVD、氧化/擴散爐、清洗機及氣體質(zhì)量流量控制器等品類廣泛應用于集成電路及泛半導體、太陽能電池、材料熱處理、新能源及航空航天等領(lǐng)域。
在線客服
產(chǎn)品詳情

Nano BC-18 刮涂設(shè)備(Blade coating)是針對有機電子學領(lǐng)域(包括有機/鈣鈦礦太陽能電池、有機場效應晶體管、有機發(fā)光二極管等),光學薄膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴散膜等)制造等,而設(shè)計開發(fā)的一款具有自主知識產(chǎn)權(quán)的大面積專業(yè)制膜設(shè)備。

相比市面上傳統(tǒng)應用于油墨/漿料等材料的涂布設(shè)備,該款設(shè)備可以從多個維度對薄膜沉積進行調(diào)控,因此適用于制備厚度從幾納米到微米級的薄膜。同時配備完整且精密的控制系統(tǒng)以及原位監(jiān)控系統(tǒng),操作便捷且人性化,工藝摸索簡易可傳承,可多方位幫助用戶得到理想的較佳膜厚。

測試結(jié)果

2 英寸超薄有機Dif-TES-ADT 膜

平均厚度62 nm

表面覆蓋率 100%

表面粗糙度5 nm

條件:刮涂速度 1 mm/s,刮刀角度 30°,溫度 60°C

蘇州大學:Nanoscale Horiz. 2020, DOI: 10.1039/d0nh00096e

性能參數(shù)

最大基片尺寸 210*210mm

基臺平整度 <2um

運動機構(gòu) 氣浮導軌結(jié)合直線伺服

刮刀 有效最大外寬MAX220mm

刮刀平整度 2um

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)升降分辨率 0.001mm

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)升降速度 0.01mm/s-15mm/s

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)移動分辨率 0.001mm

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)移動速度 1mm/s-100mm/s

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)與平臺平行度 <5um

涂布行走速度均勻性 小于0.5%(50mm/s)

人機交互系統(tǒng) 外置PC控制系統(tǒng)

閃蒸系統(tǒng) 標配閃蒸系統(tǒng),風刀系統(tǒng)可選

尺寸 800mm(W)*700mm(D)*700mm(H)

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Nano BC-18 刮涂設(shè)備(Blade coating)是針對有機電子學領(lǐng)域(包括有機/鈣鈦礦太陽能電池、有機場效應晶體管、有機發(fā)光二極管等),光學薄膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴散膜等)制造等,而設(shè)計開發(fā)的一款具有自主知識產(chǎn)權(quán)的大面積專業(yè)制膜設(shè)備。

相比市面上傳統(tǒng)應用于油墨/漿料等材料的涂布設(shè)備,該款設(shè)備可以從多個維度對薄膜沉積進行調(diào)控,因此適用于制備厚度從幾納米到微米級的薄膜。同時配備完整且精密的控制系統(tǒng)以及原位監(jiān)控系統(tǒng),操作便捷且人性化,工藝摸索簡易可傳承,可多方位幫助用戶得到理想的較佳膜厚。

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2 英寸超薄有機Dif-TES-ADT 膜

平均厚度62 nm

表面覆蓋率 100%

表面粗糙度5 nm

條件:刮涂速度 1 mm/s,刮刀角度 30°,溫度 60°C

蘇州大學:Nanoscale Horiz. 2020, DOI: 10.1039/d0nh00096e

性能參數(shù)

最大基片尺寸 210*210mm

基臺平整度 <2um

運動機構(gòu) 氣浮導軌結(jié)合直線伺服

刮刀 有效最大外寬MAX220mm

刮刀平整度 2um

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)升降分辨率 0.001mm

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)升降速度 0.01mm/s-15mm/s

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)移動分辨率 0.001mm

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)移動速度 1mm/s-100mm/s

涂布刀頭(風刀刮刀一體式)與平臺平行度 <5um

涂布行走速度均勻性 小于0.5%(50mm/s)

人機交互系統(tǒng) 外置PC控制系統(tǒng)

閃蒸系統(tǒng) 標配閃蒸系統(tǒng),風刀系統(tǒng)可選

尺寸 800mm(W)*700mm(D)*700mm(H)

選擇區(qū)號