產(chǎn)品介紹

PvS-LT5低溫氛圍旋涂儀，是我司繼加熱旋涂，光譜旋涂，卡槽真空雙路旋涂后，為鈣鈦礦科研定制化開發(fā)的一款新型儀器。本機契合了科研人員在低溫下進行鈣鈦礦層旋涂，通過改變材料溫度優(yōu)化現(xiàn)有工藝的需求。在儀器開發(fā)試驗的對比案例中，本旋涂儀制備的鈣鈦礦薄膜相較傳統(tǒng)設(shè)備制備的在結(jié)構(gòu)和形貌表征上都有明顯變化。

PvS-LT5在設(shè)計上兼顧了氣氛、溶液、基底片材的低溫要求，通過各種腔體設(shè)置保證薄膜制備過程中溶液溫度的穩(wěn)定性和一致性。本機低溫可調(diào)可控，顯示精度優(yōu)于0.1℃；同時配備了不銹鋼金屬內(nèi)襯，方便清理的前提下兼顧了導(dǎo)熱效率。

產(chǎn)品特點

4.3寸工業(yè)全彩觸屏人機界面與高精度無刷電機

PP內(nèi)腔，耐腐蝕透明蓋

真空吸附壓力保護

可處理基片范圍：小于10mm碎片至3寸圓形底物

可選配升級自動滴膠裝置

技術(shù)參數(shù)

轉(zhuǎn)速范圍 100-12000rpm

轉(zhuǎn)速分辨率 1rpm

加速度可調(diào)范圍100-30000rpm/s

最大單步時長 3000s

時間分辨率 0.1s

配方功能 最大100組配方存貯

單步和多步旋涂功能 多步支持10步程序

標(biāo)配兩種真空載物盤（支持定制） 10mm、20mm

溫度范圍 室溫至-5℃

溫度分辨率 0.1℃

磁力攪拌 標(biāo)配低溫磁力攪拌，速度可調(diào)

設(shè)備總重量 機器11千克+電源3千克

旋涂電源輸入 寬電壓輸入220-240VAC

制冷電源 寬電壓輸入220-240VAC 350W

旋涂外形尺寸 210mm(W)*270mm(D)*270mm(H)

制冷電源尺寸 180mm(W)*300mm(D)*160mm(H)

氣泵參數(shù) 220VAC/負(fù)壓范圍0~-80kPa

氣泵尺寸 270mm(L)*110mm(W)*155mm(H)