該涂布設(shè)備用于在不同的基材上制備薄膜。對(duì)于薄膜制備實(shí)驗(yàn)，科研人員通常要應(yīng)對(duì)各種性質(zhì)不同的溶液，并涂布出各種厚度的薄膜獲取數(shù)據(jù)或改進(jìn)工藝。此時(shí)，多次同參數(shù)涂布制備出的試片批次內(nèi)一致性和批次間的重復(fù)性決定實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確與否。本設(shè)備可以精密調(diào)節(jié)涂膜時(shí)間隙大小，涂布速度等參數(shù)，利用光柵尺、位移傳感器等閉環(huán)反饋手段還能保證每次實(shí)驗(yàn)時(shí)再現(xiàn)同樣的條件，極大程度清除回轉(zhuǎn)空程、傳動(dòng)背隙、熱膨脹等不穩(wěn)定因素帶來的誤差，得到較佳實(shí)驗(yàn)效果，提高科研效率。

技術(shù)參數(shù)

工業(yè)全彩觸屏友好人機(jī)界面，操作簡(jiǎn)便

304高精度研磨面板，自帶真空吸附和氣動(dòng)反吹取片功能

高精度直線電機(jī)系統(tǒng)，精準(zhǔn)控制速率

配備高精度標(biāo)準(zhǔn)線棒/光軸

帶FFU排風(fēng)功能，保證內(nèi)部空氣有效循環(huán)流通

最大可容納基片尺寸：450*650mm

平臺(tái)平整度：＜10um

運(yùn)動(dòng)平面度：＜10um

刮刀升降分辨率：0.01mm

刮涂速度：1-1000mm/s

風(fēng)刀系統(tǒng)：均勻出風(fēng)，氣源接口適用6*4mm氣管

電源輸入：AC220V

額定功率：2000W