加熱臺是一種用于加熱實(shí)驗(yàn)室器皿或樣品的設(shè)備，主要用于科研、教學(xué)和工業(yè)生產(chǎn)中的加熱實(shí)驗(yàn)。其具有加熱均勻、溫度控制精確、安全可靠等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于化學(xué)、生物、醫(yī)藥、食品等領(lǐng)域。本系列精密加熱臺采用定制大功率加熱元件作為熱源，配合寬廣接觸面為整個面板提供準(zhǔn)確且均勻的溫度。儀器防塵蓋、鉸鏈、熱體支座都采用隔熱性能良好的無機(jī)材料并配有輻射反射面，大限度減少熱量損失提高溫度響應(yīng)，在高溫下也能保持無煙無塵，符合潔凈間的需求。熱臺配有真空吸附孔，能及時排空基片下降到臺面時間隙內(nèi)的空氣，通過大氣壓力減少基片和加熱面板間的距離，是加熱薄基板、大尺寸晶圓的理想選擇。

產(chǎn)品特點(diǎn)

7寸全彩觸屏控制，高級PLC控制，指定時間內(nèi)自動升降，可以定時取片，操作更簡便

陽極氧化鋁耐腐蝕加熱面板

支持4/6/8/12寸晶硅片

溫度準(zhǔn)確度±1℃（封閉無氣流擾動狀態(tài)下）

任意設(shè)置頂針高度，實(shí)現(xiàn)無接觸式加熱

溫度分辨率0.1℃

采用加熱控制一體式設(shè)計，配有防漏電開關(guān)，安全可靠

設(shè)計過溫保護(hù)功能，確保使用過程中的安全

智能控制系統(tǒng)，可分30個程序段控溫

帶真空吸附功能

技術(shù)參數(shù)

電壓： 220V 電流 50Hz-60Hz

加熱區(qū)域： 220*220(mm)

有效恒溫范圍： 200*200（mm）

控溫范圍： 室溫-200℃/室溫-300℃（可選）

溫度分辨率： 0.1℃

溫度均勻性： ±%1℃（封閉無氣流擾動狀態(tài)下）

頂針高度： 30mm（可以多段高度設(shè)置）

時間設(shè)置： 1s-3000s

功率： 2000W(9A)/2500W(9A)（可選）

蓋內(nèi)空高度 ： 38mm

真空接口： 設(shè)備后板出口外徑6mm

真空輸入要求： -0.04~-0.09Mpa

線性升溫： 1-15℃/min，升溫速率可調(diào)

主機(jī)產(chǎn)品尺寸： 300*400*350(mm)/485*389*305(mm)（可選）